潔凈室(Cleam Room)不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。潔凈室主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為“潔凈室”。按照國際標準,潔凈室級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。
潔凈室內(nèi)需按如下要求設(shè)置:
防靜電地板:點對點電阻<10E9Ω;點對地電阻<10E9Ω2、
防靜電墻板:點對點電阻<10E9Ω;點對地電阻<10E9Ω3、
防靜電窗:點對點電阻<10E9Ω;點對地電阻<10E9Ω4、
可靠的接地系統(tǒng):點對點電阻<1Ω5、
空氣電離系統(tǒng):根據(jù)制程工藝確定平衡電壓范圍和消電時間,推薦:平衡電壓<±35V。
除此之外,也要定時消毒。
要進行潔凈間的滅菌殺毒處理(車間紫外線照射或臭氧消毒處理):在潔凈間使用一段時間后,部分區(qū)域?qū)⒋嬖陔y以清潔到位的區(qū)域(如風(fēng)管內(nèi)壁),此時,使用紫外線照射或臭氧消毒30分鐘以上,可以有效防止霉菌的交叉污染(不可在有人情況下殺菌)。當然,在日常情潔時,由于紫外線對霉菌孢子的殺菌效果有限,可適當配合酒精噴霧等方法進行處理。而因為臭氧具有強氧化性,因此一般一年1-2次。